一. 采购人名称：新昌浙江工业大学科学技术研究院

二. 采购项目名称：三坐标等离子体精密加工机床项目

三．采购项目概况：为解决我国第三代半导体碳化硅基片超精密抛光效率低、成本高的业界难题，缩小与国外半导体先进加工技术差距，满足国家重大需求，新昌浙江工业大学科学技术研究院拟研制“等离子体辅助力流变高效超精密抛光装备”，具有必要性和紧迫性。

哈尔滨工业大学所研发的“三坐标等离子体精密加工机床”，其关键技术指标处于国内领先水平，能满足该研究院“等离子体辅助力流变高效超精密抛光装备”研究需求，对加快整个项目的研发具有重要支撑作用。目前国内可用于碳化硅基片加工的等离子体精密加工设备仅哈尔滨工业大学研发的“三坐标等离子体精密加工机床”符合要求。  

四．采购方式：单一来源采购

五．采购公告发布日期：2022年1月31日

六．定标日期：2022年2月25日

七．评标委员会名单：张仁祥、周见行、董兰兰、章小超、赵泳

八．中标结果：

新昌浙江工业大学科学技术研究院三坐标等离子体精密加工机床项目经单一来源采购，拟成交供应商为哈尔滨工业大学，成交价为1325000元。

九．其它事项：

中标候选人公示期为公示之日起3个工作日。公示期内，如对中标候选人存在疑问，可以书面形式向采购人提出质疑。

十．联系方式

采购人名称：新昌浙江工业大学科学技术研究院

地址：浙江省新昌县泰坦大道89号

联系人：李女士

联系电话：13588568939