文章简介

精度是制造业最重要的指标之一。高精度为工业产品创造高质量、高性能、互换性、可靠性和附加值。在过去的几十年中，高精度制造技术取得了巨大的飞跃，产品的形状精度达到纳米级，表面粗糙度达到原子级。这些极端精度的制造技术使高性能光学元件、半导体基板、生物医学部件等的飞速发展成为可能，从而增强了人类探索自然界宏观/微观奥秘和潜力的能力。本文综述了超精密切削、超精密磨削、确定性抛光和超光滑抛光等目前最先进的极端精度制造技术，对其原理、方法和应用进行了比较研究，并讨论了极端精度制造中的关键问题。本文可为今后的该领域的研发工作提供重要参考。

                                                                                                                                                                                                            作者简介            


                                                                                                                                                                                                                           
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                

张志宇博士，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所副研究员。在吉林大学获得学士和硕士学位，在日本东北大学获得博士学位。先后在美国佛罗里达大学、澳大利亚新南威尔士大学访学。回国后在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所工作至今。研究方向包括非球面SiC反射镜加工与检测、衍射元件的微纳制造技术等。2010年12月获得日本东北大学授予的“东北大学藤野先生纪念奖”，2014年被推荐加入“中科院青年学者促进会”，2018年获得吉林省技术发明奖一等奖。主持国家自然科学基金委青年和面上基金各1项，吉林省科技厅优秀青年人才项目1项，“高档数控机床与基础制造装备”国家科技重大专项（04专项）子课题。参与国家973计划、国家自然科学基金重点项目等。在IJMTM、Optics Express、Applied Optics等国际期刊发表学术论文50余篇。

闫纪旺教授，2000年毕业于日本东北大学并获工学博士学位，2005年任副教授，2012年任日本庆应义塾大学机械系教授，创建并领导拥有世界一流设备的精密纳米加工实验室。在日本机械学会，精密工学会，磨粒加工学会，学术振兴会等多种学术组织担任委员以及理事等职务。曾任中国教育部长江学者讲座教授（2009-2012），英国曼彻斯特大学客座教授（2018-2019），兼任东京工业大学特任教授（2007年至今）。研究方向包括超精密加工，微纳制造，激光加工，电加工以及成型加工，作为课题负责人承担日本政府基金项目20余项，产业界项目60余项，获30多项学术奖励。在著名学术期刊发表论文200余篇，主编英文专著2部，撰写书章18部。科研成果被著名媒体和报纸报道20余次，在国际会议及科研机构作特邀报告或主题报告100余次。现担任12种国际学术期刊编委。
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                 

厨川常元教授，现任日本东北大学研究生院医工学研究科科长，机械系统工程系纳米精度机械制造研究室和医工学研究科生物医疗界面制造研究室教授，兼任东北大学新产业创新孵化中心教授。分别于1979年，1981年，1987年在日本东北大学获得学士，硕士和博士学位。1990-1992年任该大学讲师，1992年任副教授，2003年任教授。1991至1992年作为访问教授在美国康乃狄克大学从事喷气式发动机叶片的蠕动磨削研究，2003年在美国北卡大学夏洛特分校精密测试中心从事学术访问。现为日本学术会议会员，日本磨粒加工学会会长。研究内容包括纳米精度机械制造，微纳尺度制造，粒子喷射加工等。发表期刊论文300余篇，撰写书章10部，申请专利40项，获学术奖励43项。

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